二槽式のHAST試験装置について解説

半導体チップなどの性能を評価するHAST試験（高度加速寿命試験）の装置には、一槽式・二槽式の2種類があります。二槽式は、蒸気を発生させる槽と試験槽が独立している点が特徴です。ここでは、二槽式のHAST試験装置と実際の製品例について紹介します。

二槽式のHAST試験装置とは？

二槽式装置の仕組み

二槽式装置は、蒸気を発生させる槽（ボイラー）と、試験槽（チャンバー）がそれぞれ独立した構造です。半導体チップなどの試験のうち、精密な温度・湿度制御が求められる場合に、二槽式が用いられることがあります。

ボイラーでは、試験に必要な温度の水蒸気を生成します。チャンバーに試料を投入し、内部のヒーターで指定温度まで温めて、ボイラーから送られてくる水蒸気と併せる仕組みです。

二槽式HAST試験装置の製品例

外部操作も可能な二槽式装置

2種類の制御方式（飽和・不飽和）と、3種類の排気モードを搭載したHAST試験装置です。二槽式のため精密な試験に適しており、3種類の運転モードでトータル1500ステップを登録できるプログラム運転モードを搭載。専用アプリによる外部からの遠隔操作にも対応しています。

コンパクト設計と安全機構を搭載した二槽式装置

二槽式構造を採用し、幅60.7cmというコンパクト設計が特徴的なHAST試験装置です。空焚きを防ぐ自動給水機能や、二重構造とインターロック機構を搭載した扉など、安全性にも配慮したモデルです。2種類の制御方式（飽和・不飽和）と2種類の排気モードをスイッチの切り替えで選択できます。

2種類の運転モードを搭載した二槽式装置

プログラム運転・定値運転の2モードに対応しているHAST試験装置です。カラー液晶ディスプレイやタッチパネルを採用しており、直感的で扱いやすい操作性を実現。また、耐圧性に優れた円筒形構造を採用することで、内部の無駄なスペースを減らし、試験に使用できる有効領域を広く確保しています。

二槽式のHAST試験装置を比較しよう

HAST試験に使われる装置は、一槽式と二槽式の2種類です。両方の方式に対応した装置なら、試料や試験のタイプに合わせて方法を切り替えられます。

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